ASML EUV工廠總工程師Mike Labelle：你可以看到EUV(極紫外光)機台，就在我的後方。一窺荷蘭半導體製造設備商艾司摩爾廠房，就是這一台「EUV光刻機」，主宰全球半導體「先進製程」成敗，台積電靠著它生產高良率晶片，打趴業界獨占鰲頭，但代價是超高用電量。
ASML EUV工廠總工程師Mike Labelle：「它可以讓我們有能力製造較小的晶圓，這代表晶圓能更快、更小，功耗可以更低。」EUV靠高能量壓縮波長，製造高階晶片，意味著也得花費大量電力，而台積電光是EUV機台就擁有超過80台，電力當然用的兇，而且逐年成長，預計到2025年，用電量將占全台整體能源的12.5%，遠高於2020年的6%，遭外媒評論是吃電怪獸。
對此，台積電聲明，台積電致力優化製程能源使用效率，每用的1度電，能為全球省4度電。地球公民基金會專員鄧宇佑：「(台積電)指的所謂省4度電，最主要是說他們所製造的產品，能夠產生的能源效率改善。但環保團體真正擔心的還是台積電用的所謂的1度，它的耗電量是具體成長跟上升的。」
儘管台積電砸大錢買綠電，也致力生產低耗能、高效率產品，但高耗電也是事實，而且對電力有高度需求的，也不只台積電，記憶體大廠美光還有南亞科，也都預備導入EUV機台，增加競爭力。既然「高耗電」免不了，在有限電力下，專家提出解方。
台灣經濟發展研究中心研究員梁啟源：「要處理(缺電)的話，就是既有電廠要延役，包括核電、包括煤電。」畢竟半導體產業，佔台灣出口總值35%，發展「先進製程」又是台灣的致勝關鍵，不只電能供給不能斷，還得兼顧環保，政府、企業發展乾淨又穩定的能源，得和時間賽跑。
鏡新聞」已在MOD508台與YouTube頻道同步播出。
